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激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至标准，是迄今的高、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。 ...
一.中图激光干涉仪产品优势1.测量高、速度快，稳定性好 ①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高稳频(0.05ppm)②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级③使用高速光电信号采样和... ...